美國(guó)Brooks Instruments布魯克斯熱質(zhì)量流量計(jì)GF100 / GF120 / GF125說明

美國(guó)Brooks Instruments布魯克斯熱質(zhì)量流量計(jì)GF100 / GF120 / GF125說明
設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體，MOCVD和需要其他氣體流量控制應(yīng)用高純度全金屬流道，在Brooks®GF100系列質(zhì)量流量控制器和米提供卓越的性能，可靠性和靈活性。廣發(fā)亮點(diǎn)系列業(yè)界先進(jìn)的功能包括：超高速300毫秒的建立時(shí)間，MultiFlo?氣體和范圍的可編程，可選的壓力瞬變不敏感（PTI）本地顯示器，極低的潤(rùn)濕表面積，和耐腐蝕哈氏傳感器管和氣門座。該GF100系列一直是馬拉松式的測(cè)試，以超過三倍可靠性半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，以確?？芍貜?fù)的低漂移性能隨著時(shí)間的推移。獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口允許用戶排除故障或改變流動(dòng)條件，但不從服務(wù)質(zhì)量流量控制器。

旗艦GF125是第二代多變量，壓力瞬變不敏感質(zhì)量流量控制器。該產(chǎn)品建立在布魯克斯的壓力的領(lǐng)導(dǎo)地位瞬變不敏感型（PTI）質(zhì)量流量控制器的技術(shù)，最大限度地降低工藝氣體流的變化，由于壓力和溫度的波動(dòng)。在GF125使客戶能夠簡(jiǎn)化并通過省去了點(diǎn)的減少氣板的尺寸和成本使用壓力調(diào)節(jié)器，壓力傳感器，以及相關(guān)的硬件。
MultiFlo?氣體和范圍的可編程性，一個(gè)專利技術(shù)發(fā)展和完善布魯克斯在過去的10年中，改變了質(zhì)量流量控制器行業(yè)受為客戶提供選擇新的天然氣校準(zhǔn)和滿量程沒有能力的麻煩和從氣體管線除去質(zhì)量流量控制器的成本。該GF系列第四代MultiFlo技術(shù)不斷引領(lǐng)市場(chǎng)最通過廣泛的細(xì)化和物理準(zhǔn)確，最廣泛的性能驗(yàn)證關(guān)鍵過程的氣體。
該GF100系列是基于一種新型的模塊化一個(gè)高度可配置平臺(tái)建筑。已經(jīng)廣泛采用半導(dǎo)體，真空薄膜，太陽(yáng)能和相關(guān)客戶，GF100系列功能集是經(jīng)過精心選擇，以使投遞更換和大多數(shù)品牌的金屬密封的質(zhì)量流量控制器的升級(jí)，包括前者迅捷，單位，Tylan和Mykrolis公司品牌。有了廣泛的選擇和可用的功能，該GF100系列為用戶提供了簡(jiǎn)化的路徑和標(biāo)準(zhǔn)化，大大減少備件庫(kù)存和支持成本。
特點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)
MultiFlo氣體和范圍可配置能力，以重新配置新的傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)和滿量程范圍內(nèi)的質(zhì)量流量控制器無的時(shí)間，并從氣體管線刪除該設(shè)備的成本。用戶可訪問服務(wù)端口與先進(jìn)方便的接口診斷為最大正常運(yùn)行時(shí)間。確保設(shè)備在用戶操作診斷與友好的用戶界面指定的高產(chǎn)量和最大正常運(yùn)行時(shí)間的限制。耐腐蝕鎳基合金T-崛起傳感器提供了無與倫比的長(zhǎng)期穩(wěn)定的傳感器確保最大的成品率和產(chǎn)量。壓力瞬變不敏感（PTI），提高高收益。降低整體煤氣面板成本。精度（HA），安全傳輸系統(tǒng)（SDS）選項(xiàng)
美國(guó)Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測(cè)量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗(yàn)，Brooks公司不斷推出各種流量計(jì)以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計(jì)和其他液位測(cè)量產(chǎn)品。
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