美國Brooks Instruments（布魯克斯）熱質量流量計GF100說明

美國Brooks Instruments（布魯克斯）熱質量流量計GF100說明
通過結合布魯克斯的專利流量傳感器技術與高速ARM處理器，快速的動膜片免費閥門裝配時，GF100系列提供高達3倍的速度相對于其他的質量流量的響應和穩(wěn)定時間控制器，可實現(xiàn)：
通過減少非生產(chǎn)性的流動改進晶片的產(chǎn)量解決步驟
超快需要1-2秒的蝕刻步驟的關鍵蝕刻工藝
減少分流天然氣消費量和相關的減排成本
在原子層沉積時間敏感的氣體輸送步驟
對于需要一個緩慢的過程憋足氣的開啟或時間流量之間的關鍵過渡。用戶可編程斜坡函數(shù)被提供

MultiFlo?MultiFlo氣體和范圍可配置比傳統(tǒng)的單點氣體的一個重大進步換算系數(shù)，布魯克斯MultiFlo技術，可提供高達一三次改進工藝氣體精度。這是通過優(yōu)化，通過先進的燃氣建模實現(xiàn)實際氣體測試非線性氣體提供補償。MultiFlo還允許設備可以快速，輕松地配置為沒有其他氣體和/或流量范圍犧牲準確性或rangability。選擇一個新的氣體
自動創(chuàng)建一個新的標準曲線，建立動態(tài)控制進行了優(yōu)化PID設置，自動補償氣體密度的影響，并確保平穩(wěn)，流量之間的超調(diào)，無過渡具有優(yōu)良靜態(tài)穩(wěn)定。
布魯克斯MultiFlo技術提供了無與倫比的靈活性;一個單個設備可以編程為數(shù)千種不同的氣體和流量范圍配置。重新編程簡單，快捷;新的燃氣和范圍可以可在30秒編程研究。布魯克斯提供了一個完整的氣體數(shù)據(jù)庫，以確保MultiFlo的真正價值實現(xiàn)：
大大降低了庫存成本
質量流量控制器滿量程流量范圍可以再縮小通常通過3倍：1的對精度沒有影響，翻折或規(guī)格泄露，很佳工藝和庫存靈活性
最多支持典型要求的少40％配置蝕刻和CVD工藝經(jīng)文我們最接近的競爭對手
通過廣泛的氣庫最廣泛的工藝氣體覆蓋
質量流量控制器可以被替換在只有幾分鐘
現(xiàn)成的備件可編程性能夠快速的過程復蘇
用于研究應用最大的靈活性
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
上海連航機電科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)的進口機電產(chǎn)品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件，提供過程控制技術咨詢，工業(yè)自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業(yè)技術應用及產(chǎn)品供應服務。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
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