美國布魯克斯Brooks Instruments熱質(zhì)量流量控制器GF135特征和優(yōu)勢

美國布魯克斯Brooks Instruments熱質(zhì)量流量控制器GF135特征和優(yōu)勢
GF135系列采用金屬密封的熱質(zhì)量流量控制器性能和智能。
型號GF135
保持對目標(biāo)的關(guān)鍵流程的流程和與GF135高級診斷壓力瞬變不敏感型（PTI）質(zhì)量流量控制器最大限度地提高吞吐量。世界上個“聰明”的質(zhì)量流量控制器是一個真正的游戲改變：它執(zhí)行率的衰減整體流量測量無需停止工藝氣體的流動。它允許半導(dǎo)體制造商驗證的過程氣體的精度，通過泄漏檢查閥和實時監(jiān)測傳感器穩(wěn)定性而不從氣體管線除去流量控制器。與全金屬潤濕流路相結(jié)合，超快速建立時間和業(yè)界先進的工藝氣體的精確度，GF135 PTI MFC有能力改變的生產(chǎn)力和吞吐率為廣泛沉積工藝的潛力。

特征
每年<±0.5％滿量程長期零點穩(wěn)定性
超快速建立時間：<300毫秒 - <400毫秒
滿量程流速：3 SCCM至5 SLM
超高純度流動路徑 - 4μ寸鐳表面光潔度
嵌入式實時流量錯誤檢測和使用趨勢率的衰減（ROD）技術(shù)
增強工藝氣體的準(zhǔn)確性 - 高達三倍的改善 - 通過先進的氣體通過模擬實際氣體測試優(yōu)化
第三代壓力瞬變不敏感（PTI）技術(shù)
能見度高，電子可旋轉(zhuǎn)的LCD顯示提供流量，溫度，壓力和網(wǎng)絡(luò)地址的本地指示
的DeviceNet?，RS-485和模擬接口
優(yōu)點
實時流錯誤檢測可以更快地調(diào)整流量偏差和支持晶圓良率改善
傳感器穩(wěn)定跟蹤，支持預(yù)測性維護提高系統(tǒng)正常運行時間
閥門泄漏通過跟蹤有助于最小化的晶片效應(yīng)
增強的過程氣體精確度10納米工藝符合化學(xué)氣體控制方面的挑戰(zhàn)
市場先進的流量穩(wěn)定時間減少非生產(chǎn)性流穩(wěn)定措施，支持先進的3D設(shè)備處理
加強壓力不敏感提供卓越的工藝氣體控制增強刻蝕和沉積控制
耐腐蝕的哈氏合金傳感器提供了無與倫比的長期穩(wěn)定的傳感器確保最大的成品率和產(chǎn)量
下拉更換為表面貼裝和VCR微生物燃料電池是在現(xiàn)有系統(tǒng)中的關(guān)鍵氣體線輕松升級
應(yīng)用
安森美半導(dǎo)體先進的蝕刻工具
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
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