美國Brooks Instruments布魯克斯流量控制器GF100的特征和優(yōu)點

美國Brooks Instruments布魯克斯流量控制器GF100的特征和優(yōu)點
GF100系列采用金屬密封的熱質(zhì)量流量控制器和儀表
高純度的流動路徑。出色的性能，可靠性和可重復(fù)性。
型號GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121
快速響應(yīng)工藝氣體的高和超高水平的，可重復(fù)的遞送純度-這就是GF100系列金屬的密封質(zhì)量流量控制器和儀表提供的性能。設(shè)計用于半導(dǎo)體，MOCVD等氣體流量控制的應(yīng)用中，GF100系列超過可靠性半導(dǎo)體工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，以確?？芍貜?fù)的，隨著時間的推移表現(xiàn)高度穩(wěn)定。標(biāo)準(zhǔn)MultiFloTM技術(shù)使一個MFC支持?jǐn)?shù)千個氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線移除或犧牲精度。
其結(jié)果是：提高過程的靈活性和效率同行業(yè)的工藝氣體純度很高水平結(jié)合起來，幫助最大限度地提高產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。

特征
每年<±0.5％滿量程長期零點穩(wěn)定性
建立時間：700毫秒 - <1秒
滿量程流量可達300 SLPM
全金屬密封流動路徑：選項4μ或10μ英寸鐳表面光潔度
耐腐蝕哈氏合金T-上升傳感器提高了在高溫下測量的可重復(fù)性
MultiFloTM氣體和范圍的可編程酮裝置，數(shù)千氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線除去MFC或影響精度
本地顯示
可選SDS氣體輸送
DeviceNetTM，RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
優(yōu)點
高性能組件馬拉松測試七次半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的可靠性
全金屬，耐腐蝕流量降低的表面積和體積的未波及路徑，確保在清洗步驟，更快干下來
與MultiFloTM，新工藝氣體和/或范圍可被設(shè)置在在60秒 - 沒有更多的去除和校準(zhǔn)微生物燃料電池
高度可配置平臺使直接替換升級和大多數(shù)品牌的金屬封閉微生物燃料電池，包括前迅捷，Mykrolis公司，Tylan和單位品牌
GF120安全輸送系統(tǒng)（SDS®）是布魯克斯的國家的很先進的低壓降質(zhì)量流量控制器子大氣的安全傳輸系統(tǒng)的交付種植和蝕刻工藝中使用（SDS）氣體
方便用戶的顯示和獨立的診斷/服務(wù)口岸艾滋病設(shè)備安裝，監(jiān)控和故障排除
應(yīng)用
半導(dǎo)體蝕刻工具
薄膜的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD，MOCVD，PECVD，ALD）
物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)
外延工藝系統(tǒng)
上海連航機電科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)的進口機電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進口備品備件，提供過程控制技術(shù)咨詢，工業(yè)自動化集成設(shè)計與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，保障全產(chǎn)業(yè)鏈一體化工業(yè)服務(wù)水平，連航分別在德國和美國設(shè)有公司和倉儲中心，自此建立了對歐美先進工業(yè)品與工業(yè)技術(shù)大規(guī)模引進的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本壓縮，連航擴大了在業(yè)內(nèi)的先進優(yōu)勢，終端服務(wù)效率與水平與日俱增。
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。