美國Brooks Instruments布魯克斯流量控制器GF100的特征和優(yōu)點

美國Brooks Instruments布魯克斯流量控制器GF100的特征和優(yōu)點
GF100系列采用金屬密封的熱質量流量控制器和儀表
高純度的流動路徑。出色的性能，可靠性和可重復性。
型號GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121
快速響應工藝氣體的高和超高水平的，可重復的遞送純度-這就是GF100系列金屬的密封質量流量控制器和儀表提供的性能。設計用于半導體，MOCVD等氣體流量控制的應用中，GF100系列超過可靠性半導體工業(yè)標準，以確?？芍貜偷模S著時間的推移表現(xiàn)高度穩(wěn)定。標準MultiFloTM技術使一個MFC支持數(shù)千個氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線移除或犧牲精度。
其結果是：提高過程的靈活性和效率同行業(yè)的工藝氣體純度很高水平結合起來，幫助最大限度地提高產量和生產效率。

特征
每年<±0.5％滿量程長期零點穩(wěn)定性
建立時間：700毫秒 - <1秒
滿量程流量可達300 SLPM
全金屬密封流動路徑：選項4μ或10μ英寸鐳表面光潔度
耐腐蝕哈氏合金T-上升傳感器提高了在高溫下測量的可重復性
MultiFloTM氣體和范圍的可編程酮裝置，數(shù)千氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線除去MFC或影響精度
本地顯示
可選SDS氣體輸送
DeviceNetTM，RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
優(yōu)點
高性能組件馬拉松測試七次半導體行業(yè)標準的可靠性
全金屬，耐腐蝕流量降低的表面積和體積的未波及路徑，確保在清洗步驟，更快干下來
與MultiFloTM，新工藝氣體和/或范圍可被設置在在60秒 - 沒有更多的去除和校準微生物燃料電池
高度可配置平臺使直接替換升級和大多數(shù)品牌的金屬封閉微生物燃料電池，包括前迅捷，Mykrolis公司，Tylan和單位品牌
GF120安全輸送系統(tǒng)（SDS®）是布魯克斯的國家的很先進的低壓降質量流量控制器子大氣的安全傳輸系統(tǒng)的交付種植和蝕刻工藝中使用（SDS）氣體
方便用戶的顯示和獨立的診斷/服務口岸艾滋病設備安裝，監(jiān)控和故障排除
應用
半導體蝕刻工具
薄膜的化學氣相沉積系統(tǒng)（CVD，MOCVD，PECVD，ALD）
物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)
外延工藝系統(tǒng)
上海連航機電科技有限公司是國內專業(yè)的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件，提供過程控制技術咨詢，工業(yè)自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業(yè)技術應用及產品供應服務。主要產品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，保障全產業(yè)鏈一體化工業(yè)服務水平，連航分別在德國和美國設有公司和倉儲中心，自此建立了對歐美先進工業(yè)品與工業(yè)技術大規(guī)模引進的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠直采加產品集散帶來的二度成本壓縮，連航擴大了在業(yè)內的先進優(yōu)勢，終端服務效率與水平與日俱增。
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的生產。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產品。