美國布魯克斯Brooks Instruments熱質(zhì)量流量控制器GF80 / GF81特點應(yīng)用

美國布魯克斯Brooks Instruments熱質(zhì)量流量控制器GF80 / GF81特點應(yīng)用
GF80系列采用金屬密封的熱質(zhì)量流量控制器和儀表提出了在價值驅(qū)動的金屬密封應(yīng)用的性能標(biāo)準(zhǔn)。
對于許多工業(yè)和半導(dǎo)體工藝，性能和成本效率是至關(guān)重要的。該GF80系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表提供兩種：使用相同的快速響應(yīng)傳感器和專利的第四代MultiFlo?技術(shù)作為我們最暢銷的GF100系列工程，它是，在一個價值的價格點需要高性能運(yùn)算的正確選擇。移動到密封的MFC的金屬帶來MultiFloTM多氣體/多范圍能力的全部優(yōu)點，因為有在氣體沒有限制，可以使用的，氣體的，由于通過彈性體透氧消除增強(qiáng)純度，并在還原因為金屬密封件的維修將持續(xù)下去。

特點
每年<±0.5％滿量程長期零點穩(wěn)定性
<1秒的穩(wěn)定時間
滿量程流量可達(dá)300 SLPM
全金屬密封流動路徑 - 16μ英寸鐳表面光潔度
耐腐蝕哈氏傳感器可以在較低溫度下為氣體容易發(fā)生熱分解操作
可編程MultiFloTM能力酮裝置，數(shù)千氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線除去MFC或影響精度
通過積極的溫度補(bǔ)償很佳的的溫度系數(shù)規(guī)格
嵌入式自測程序和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口
超薄機(jī)身采用VCR接頭
DeviceNetTM，PROFIBUS®，RS-485和模擬接口
優(yōu)點
快速<1秒流量穩(wěn)定時間浪費(fèi)消除氣體和工藝可變性
沒有彈性體密封，可以有透氧，需要更換隨著時間的推移
MultiFloTM簡化和優(yōu)化改變工藝氣體 - 沒有更多的拆除和微生物燃料電池校準(zhǔn)
新的氣體和/或范圍可以在60秒內(nèi)設(shè)置在
測量精度不受溫度變化
方便地訪問診斷端口最大正常運(yùn)行時間
緊湊的尺寸簡化融入緊機(jī)位;為改造選擇
多協(xié)議通信接口簡化集成到現(xiàn)有系統(tǒng)
應(yīng)用
高性價比改造/翻新中的半導(dǎo)體工藝工具遺留的MFC升級
減少六英寸/八英寸晶圓廠半導(dǎo)體庫存MFC
MOCVD的LED和功率器件制造
太陽能/薄膜化學(xué)氣相沉積（CVD）系統(tǒng)的
分析OEM設(shè)備
美國布魯克斯Brooks Instruments作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
上海連航機(jī)電科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)的進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過程控制技術(shù)咨詢，工業(yè)自動化集成設(shè)計與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機(jī)、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，保障全產(chǎn)業(yè)鏈一體化工業(yè)服務(wù)水平，連航分別在德國和美國設(shè)有公司和倉儲中心，自此建立了對歐美先進(jìn)工業(yè)品與工業(yè)技術(shù)大規(guī)模引進(jìn)的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本壓縮，連航擴(kuò)大了在業(yè)內(nèi)的先進(jìn)優(yōu)勢，終端服務(wù)效率與水平與日俱增。