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美國Brooks Instruments高溫質(zhì)量流量控制器5850EMH特點(diǎn)優(yōu)勢

閱讀次數(shù):1974    發(fā)布時間: 2016-06-13 09:47:00

美國Brooks Instruments高溫質(zhì)量流量控制器5850EMH特點(diǎn)優(yōu)勢
高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表
具有挑戰(zhàn)性的高溫應(yīng)用的很高純度的流動路徑。
當(dāng)今許多先進(jìn)的電子器件制造工藝的要求非常準(zhǔn)確和高度可重復(fù)的測量和昂貴的超純氣體和液體前體的控制。布魯克斯儀器符合我們的高溫金屬封閉熱質(zhì)量流量控制器和儀表這些需求。精確的化學(xué)控制是通過超穩(wěn)定,高精度測量傳感器,快速精密控制閥和強(qiáng)大的數(shù)字電子產(chǎn)品的組合來實(shí)現(xiàn)。工藝化學(xué)純度是由我們的高完整性(漏緊)保證,超高純度,全金屬潤濕流路,旨在保持外污染物,如水分和氧氣從破壞工藝介質(zhì)。


主要應(yīng)用領(lǐng)域
光纖制造 - MCVD
硅半導(dǎo)體裝置的制造工序的
CVD(蒸氣形式前驅(qū)體傳輸)
條(水蒸氣)
蝕刻(鈍化水蒸氣)
5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制器
成熟的長期穩(wěn)定性。超純性能用于高溫應(yīng)用。
型號5850EMH / 5851EMH
提供的高溫氣體的測量和控制的先進(jìn)的性能,布魯克斯儀器的5850EMH系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器具有多種選項(xiàng),允許最大的應(yīng)用靈活性結(jié)合了金屬密封件優(yōu)秀泄漏完整性。所述5850EMH系列的心臟是高度穩(wěn)定的傳感器,其提供了與流量的電輸出信號線性的。這個信號用于指示,而不需要一個自動置零電路的記錄和/或控制目的。
特征
高泄漏完整性(小于10-11 Pa.m3 /秒(10-10 atm.cc/s)他)
寬流量范圍(0.003 - 100 SLPM)
高純度的VAR 316L不銹鋼
顆粒無
氦氣泄漏檢查口
常閉閥(常開閥可選)
電致動控
低命令流量切除
TTL兼容“閥關(guān)”功能
優(yōu)點(diǎn)
穩(wěn)定,成熟的產(chǎn)品平臺
高流量能力可達(dá)100 LPM(N2當(dāng)量)
全金屬流動路徑增強(qiáng)了氣體純度,并減少泄漏
易于安裝和使用僅限于模擬輸入/輸出服務(wù)
應(yīng)用
光纖制造 - MCVD,OVD,AVD
水蒸氣流控制
美國Brooks Instruments(布魯克斯)作為EMERSON(艾默生)旗下的一子公司,專門從事流量計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗(yàn),Brooks公司不斷推出各種流量計(jì)以及壓力控制技術(shù)(壓力控制器、壓力表、壓力變送器等)。Brooks還提供一系列磁性液位計(jì)和其他液位測量產(chǎn)品。
上海連航機(jī)電科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)的進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件,提供過程控制技術(shù)咨詢,工業(yè)自動化集成設(shè)計(jì)與改造,成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機(jī)、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等,歡迎來電咨詢。
為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐,保障全產(chǎn)業(yè)鏈一體化工業(yè)服務(wù)水平,連航分別在德國和美國設(shè)有公司和倉儲中心,自此建立了對歐美先進(jìn)工業(yè)品與工業(yè)技術(shù)大規(guī)模引進(jìn)的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本壓縮,連航擴(kuò)大了在業(yè)內(nèi)的優(yōu)勢,終端服務(wù)效率與水平與日俱增。


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