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產(chǎn)品介紹
LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應(yīng)用。自帶2場(chǎng)EPIFLEX讀數(shù)模塊，也適用于惡劣的應(yīng)用環(huán)境。
性能特點(diǎn)
- 真空版LIK 21，外殼版本1
- 帶EPIFLEX讀數(shù)模塊（2場(chǎng)掃描）
- 光柵尺部件滿(mǎn)足真空度達(dá)10 E-9 mbar（UHV）的氣壓要求
- 支持150 °C時(shí)12小時(shí)的加熱周期
- 1 Vpp或RS 422輸出信號(hào)
- 多達(dá)100倍的細(xì)分信號(hào)
- 最小測(cè)量步距僅50 nm
- 運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s（1 Vpp）
滬公網(wǎng)安備31011302006898號(hào)
