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產(chǎn)品介紹

SCC7校準(zhǔn)車為射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)提供了理想的解決方案。它將高精度的鳥(niǎo)功率傳感器、用戶友好的4421A多功能功率計(jì)和低反射負(fù)載組合在一個(gè)易于運(yùn)輸?shù)囊苿?dòng)包裝中。

該系統(tǒng)對(duì)于在不同位置具有多個(gè)RF發(fā)生器的半導(dǎo)體晶圓廠來(lái)說(shuō)是必不可少的。校準(zhǔn)車在出廠時(shí)已根據(jù)用戶要求進(jìn)行配置。功率傳感器可供選擇,覆蓋從250 kHz到170 MHz的各種頻帶。此外,還提供了一些額定功率為max.1kW至10kW的負(fù)載。請(qǐng)聯(lián)系Bird尋求定制幫助,以確保校準(zhǔn)車針對(duì)您的應(yīng)用程序進(jìn)行了優(yōu)化。

Bird更新了原來(lái)的校準(zhǔn)車(SCC71系列),現(xiàn)在加入了新的4421A系列多功能功率計(jì)。這些新的校準(zhǔn)卡(SCC72系列)具有更大、更方便的用戶界面,可以同時(shí)顯示正向功率、反射功率和回波損耗。通過(guò)保持功率傳感器和負(fù)載的相同選擇,測(cè)量能力和高精度保持不變。

性能特點(diǎn)

  • 適用于潔凈室環(huán)境
  • 帶鎖輪的不銹鋼推車設(shè)計(jì)便于運(yùn)輸和輕松使用
  • 可定制,可選擇功率傳感器和負(fù)載配置
  • 高回波損耗確保功率測(cè)量誤差小
  • 通過(guò)可用的頻率和功率升級(jí),系統(tǒng)可適應(yīng)未來(lái)的需求

選型指南

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國(guó)

電表:4421A多功能電表

傳感器選項(xiàng):4020系列、4027A系列或4027F系列

負(fù)載選項(xiàng):超穩(wěn)定負(fù)載或高功率負(fù)載

頻率范圍

4020系列傳感器:100 KHz至1000 MHz

4027A系列傳感器:250 KHz至65 MHz

4027F系列傳感器:1.8 MHz至65 MHz

阻抗:50歐姆

電源要求:115/230 VAC,±10%,50/60 Hz

連接器類型:客戶指定

操作位置:僅垂直

腳輪:4鎖定旋轉(zhuǎn)接頭

結(jié)構(gòu)材料:不銹鋼推車

環(huán)境溫度范圍:0°C至35°C(32°F至95°F)

(10 kW型號(hào)0°C至40°C/32°F至104°F)

儲(chǔ)存溫度:-20°C至70°C(-4°F至158°F)

濕度:max.85%(非冷凝)

海拔高度:5000英尺(1524米)以上的減額負(fù)載

尺寸(完全組裝)

1 kW和2.5 kW型號(hào):42英寸x 20英寸x 42英寸(107厘米x 51厘米x 107厘米)

5 kW和10 kW型號(hào):52英寸x 20英寸x 42英寸(132厘米x 51厘米x 107厘米)

重量(完全組裝)

1 kW和2.5 kW型號(hào):175磅(80公斤)

5 kW和10 kW型號(hào):250磅(114公斤)


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