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ICHOR隔膜閥CDV4A-FSFS-01FAH

產(chǎn)品介紹

Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥,其性能和純度均達(dá)到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價(jià)值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范,具有高可靠性和性能,并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容??蛻繇毚_保所選部件是符合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件,同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等

性能特點(diǎn)

CDV:1/4" 2 孔閥 (1-2)

內(nèi)螺紋端面密封

旋轉(zhuǎn)接頭,內(nèi)螺紋端面密封

旋轉(zhuǎn)接頭,手動操作

PFA/ASTM D3307

II 型,316L,高純度

選型指南

  • 端口配置代號(入口 - 出口)

a = 雙端口閥門 (1-2)

b =2 端口閥 (3-1)

c =3 端口閥 (3-1/2)

d =3 端口閥 (2-1/3)

e =3 端口閥 (1-2/3)

f =3 端口閥 (1/2-3)

g =3 端口閥 (1/3-2)

h =3 端口閥 (2/3-1)

i =4 端口閥 (1/3/4-2)

j =4 端口閥 (1-2/3/4)

k =4 端口閥 (1/2-3/4)

l =4 端口閥 (1/4-2/3)

m =2 端口閥 (5-1)

N =2端口閥 (1-3)

  • 連接類型代號

FS = 內(nèi)螺紋端面密封,旋轉(zhuǎn)式

mv = 外螺紋端面密封

ms = 外螺紋端面密封,旋轉(zhuǎn)式

TS = 卡套管

  • 閥座材料代號

K = PCTFE (KEL-F)

V = VESPEL

P = PEEK

F = PFA / ASTM D3307, 類型 II

  • 材料代號

S = 316L SST semi F20

A = 316L

N = 鎳 200

M = 鎳 400

H = 鎳合金 C22

  • 純度代號

S = 標(biāo)準(zhǔn)表面處理

H = 高純度

U = 更高純度

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

工作壓力:真空至 250 psig

端口配置:2 端口閥 (1-2)

連接 1 類型:外螺紋端面密封,旋轉(zhuǎn)式

連接 2 類型:外螺紋端面密封,旋轉(zhuǎn)式

工作溫度:-10 至 150 ℃ (15 至 300 ℉)

主體材料:316L

純度等級:高純度

閥座材料:PFA/ASTM D3307,II 型

執(zhí)行機(jī)構(gòu)特性:1/4 轉(zhuǎn)

膜片材料:elgiloy

流量系數(shù):0.3 cv

潤濕表面光潔度:10 ra

清洗:超聲波清洗和電拋光

驅(qū)動類型:手動操作

爆破壓力:4500 psig

連接尺寸:1/4 英寸

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案


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