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Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥,其性能和純度均達(dá)到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價(jià)值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范,具有良好的可靠性和性能,并與市場(chǎng)上所有競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)兼容??蛻繇毚_保所選部件是符合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件,同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。
模塊化隔膜閥
1.125" W 密封, 3 端口
氣動(dòng) N.O., 集成接頭
PEEK , 鎳 400, 更高純
純度
材料
底座材料
傳動(dòng)類型
端口數(shù)
密封類型
底座尺寸
產(chǎn)地:美國
工作壓力:真空至 150 psig
工作溫度:-10 至 150 ℃ (15 至 300 ℉)
底座尺寸:1.125 英寸
密封類型:W 型密封
端口數(shù):3 端口
主體材料:鎳 400
純度等級(jí):更高純
閥座材料:Peek
執(zhí)行機(jī)構(gòu)特征:1/8" 快速斷開連接
隔膜材料:elgiloy
流量系數(shù):0.3 cv
潤濕表面處理:5 ra
清洗:超聲波清洗
執(zhí)行類型:氣動(dòng) n.o. 集成接頭
爆破壓力:4500 psig
執(zhí)行壓力:65 至 125 psig
流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案
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